Ha Duong Ngo: Technologien der Mikrosysteme, Kartoniert / Broschiert
Technologien der Mikrosysteme
Buch
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Aktueller Preis: EUR 39,99
- Verlag:
- Springer Fachmedien Wiesbaden, 01/2023
- Einband:
- Kartoniert / Broschiert, Paperback
- Sprache:
- Deutsch
- ISBN-13:
- 9783658374976
- Artikelnummer:
- 10892449
- Umfang:
- 256 Seiten
- Nummer der Auflage:
- 23001
- Ausgabe:
- 1. Aufl. 2022
- Gewicht:
- 436 g
- Maße:
- 240 x 168 mm
- Stärke:
- 15 mm
- Erscheinungstermin:
- 2.1.2023
Klappentext
Das Buch vermittelt die Grundlagen zur Herstellung und dem Aufbau von Mikrosystemen. Es kann in zwei Teile aufgeteilt werden. Der Schwerpunkt von Teil I liegt hierbei auf den Mikrofertigungsprozessen und behandelt die Siliziumtechnologie, mikromechanische Strukturierungs- (anisotropes Ätzen, DRIE) und Bondprozesse (Eutectic Bonding, Fusion Bonding). Teil II behandelt die Aufbau- und Verbindungstechnik für Mikrosysteme und vermittelt Kenntnisse zu den Prinzipien der Chipmontage. Dabei stehen u. a. die Beschichtungstechnologien (Metallisierungssysteme) und Kontaktiertechnologien (Löten, Kleben, Bonden) im Vordergrund.Anmerkungen:
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Ha Duong Ngo
Technologien der Mikrosysteme
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